簡介什麼是EDX/EDS非破壞性表面元素分析技術?

使用EDXEDS分析的元素成分報告

能量色散 X 射線光譜(Energy-Dispersive X-ray Spectroscopy,簡稱 EDS 或 EDX)是一種業界很常見的破壞性表面元素分析技術,能夠快速識別樣品中的元素組成。在電子製造與材料分析領域中,了解材料的元素組成對於品質控制與故障分析至關重要。EDS檢測雖然為破壞性,但鑑於檢測設備的空間容量有限,建議在檢測前要先向各實驗室確認樣品尺寸的限制。另外,在許多情況下,樣品必須先進行切片處理後,才能進行元素分析。因為 EDX 一般只能分析樣品表面約 5 微米(µm)深度內的區域,因此它比較適合用於物體的表面元素偵測與分析。

EDX 通常與掃描式電子顯微鏡(SEM)或穿透式電子顯微鏡(TEM)結合使用。說句大白話,EDX/EDS之所以在目前的業界有那麼高的知名度與廣泛運用,並不是因為其元素分析的能力好用,而是因為其伴隨的電子掃描成像(SEM)功能,它可以針對樣品的表面和近表面提供高解析度和長景深的圖像,有點類似單反相機的拍照,但拍出來的只能是灰階黑白照片,一般看到的彩照都是事後加工著色而成。

SEM(電子顯微鏡)拍攝出來的照片(圖片來自維基百科)

EDX/EDS 的工作原理

EDX 檢測的時候會使用高能量電子束、質子束或X射線來激發出樣品基態原子的內層電子並釋放出特定的特徵X射線。當高能電子束照射到樣品上時,樣品中的原子內層電子會被激發並逸出,形成電子空穴(electron hole)。當其外層或處於較高能階的電子想要填充這些低能階的電洞時,就會以特定能量的X射線形式散逸出多餘的能量,稱為特徵 X 射線。每種元素的特徵 X 射線能量都是唯一的,藉由收集這些逸散射出來的X射線圖譜(能量及強度)並對照標準圖譜就可以知道其相應元素的種類及含量多寡。

圖片說明高能電子束照射到原子,使得內層電子逸出,形成電洞(electron hole),高能階電子填補低能階電洞發射出多餘能量(圖片來自維基百科)

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為何選擇 EDX/EDS?

EDX/EDS 的應用領域

EDX 技術廣泛應用於多個領域,包括:

EDX/EDS 的限制

雖然 EDS 是一種強大的分析工具,但也存在一些使用上的限制:

可以用EDX/EDS元素分析來推估樣品的化學分子式嗎?

如何用EDX判斷IMC為Cu6Sn5、Cu3Sn、Ni3Sn

工作熊只能說有機會可以從EDX報告來推估出樣品分子化學式,但我必須強調,EDX並不是專門用來推估化學式的,就算可以推估出來,限制也很多。想要用EDX推估出樣品的化學式,還得要看EDX打的位置有沒有混合到其他的雜質,基本上必須是要將EDX打在單一成分的化合物上才比較有可能計算出其化學式,如果是復合混合物,打出來的成分會變得雜亂無章,因為它打出來的元素表將包含所有的混合成分,這樣就很難推估出其化學分子式。假想你正在玩一個遊戲,把兩個陌生男女生的生日個別分拆成年月日共6組數字,並將之隨意混合,然後讓你正確組出他們的生日。使用EDX還原化學式還有另一個難題,它無法打出氫(H)元素,所以高分子類的產品(比如塑膠)就無法分析了。

想要使用 EDX 推估樣品的化學分子式時,建議要將元素換算為原子數百分比(atmotic% 或 at%)才能推估其比率。如果你真的想確認養品的化學分子式,建議你要去做FTIR比對、XPS(X-ray photoelectron spectroscopy)或XRD(X-ray diffractomete),都會比EDX來得客觀。

工作熊在另一篇文章中有舉過一個使用EDX推估「黃鐵礦」化學式的例子,有興趣的朋友可以自行查閱,也可以順便看看EDX與FTIR的差異:想知道不明污染物為何?該使用什麼方法(EDX/EDS、FTIR)檢驗

如何看懂EDX/EDS元素分析報告?

與 EDX/EDS 介紹與應用相關的影片:

結語

能量色散 X 射線光譜(EDX/EDS)是一種快速、非破壞性的元素分析技術,廣泛應用於材料科學、電子製造、法醫科學等領域。透過與電子顯微鏡的結合,EDS 不僅能提供樣品的形貌資訊,還能揭示其化學組成,為研究與工業應用提供強有力的支持。


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