無塵室(Clean Room)的微塵等級標準:ISO-14664、FS-209E

半導體業無塵衣穿著示意圖

『無塵室』又稱為「潔淨室」,是將一定空間範圍內之空氣的微塵粒子、有害氣體、細菌等污染物排除於外,並將室內之溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分佈、噪音振動及照明、靜電控制在一定需求範圍內,而給予特別設計之房間。也就是說這個受控的房間內之微塵粒子相當稀少。

無塵室環境在現代工業中被廣泛應用於半導體晶圓生產、液晶螢幕生產、生化技術、生物技術、精密器械、製藥、醫院等行業中,尤其以半導體晶圓製程時的要求等級最高,因為現今的晶圓已經都是奈米級的水準,隨便一個灰塵掉在晶圓上都可能毀這片晶圓。







無塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外,還分成正壓無塵室與負壓無塵室。一般正壓無塵室比較常見,就是讓室內的空氣壓力大於室外的壓力,這樣才可以控制室內空氣往外吹以杜絕外部的污染源。

而負壓無塵室一般應用在有毒實驗室、病理實驗室或傳染病病房,目的是為了避免實驗室或病房中有任何有毒氣體或傳染病菌不小心傳播到大氣環境中,所以負壓就是為了讓室外的空氣會往室內吹,然後藉由過濾網將可能受污染的空氣過濾,以免讓不相干的大眾受到感染。

最早時期無塵室的等級參考「美國聯邦標準209D規格」,基本上是以一立方英呎含有多少個大於0.5um直徑的微塵粒子來定義的,因為當時最小只能補抓到0.5um。後來更新到【FS-209E】,不過此表準於2001年11月廢止,而改由ISO-14644規範來取代。

ISO-14644-1無塵室的微塵粒子計算公式

ISO-14644-1無塵室粒子計算公式ISO-14644-1無塵室粒子計算示範

ISO-14644-1之無塵室標準列表

下表為ISO-14644-1之無塵室標準,其單位都是公制,所以跟感覺我們以前習慣的英制FS-209等級及粒子數不太一樣,但只要將公制(m3)換算成英制(ft3)就會變得差不多。

ISO 14644-1 無塵室標準
每立方米的粒子數
級別 ≧ 0.1 µm ≧ 0.2 µm ≧ 0.3 µm ≧ 0.5 µm ≧ 1 µm ≧ 5 µm
ISO 1                    10                   2        
ISO 2                 100                24                10                         4    
ISO 3             1,000             237             102                      35                      8  
ISO 4           10,000          2,370          1,020                    352                    83  
ISO 5        100,000       23,700       10,200                3,520                 832                29
ISO 6    1,000,000    237,000    102,000             35,200             8,320             293
ISO 7                 352,000           83,200          2,930
ISO 8             3,520,000        832,000       29,300
ISO 9          35,200,000    8,320,000    293,000

 

ISO-14644-1與FS-209E無塵室等級比較

ISO 14644-1等級 FS-209E等級
m3 ft3
ISO 3  Class 1 
ISO 4  Class 10 
ISO 5  Class 100 
ISO 6  Class 1,000 
ISO 7  Class 10,000 
ISO 8  Class 100,000 

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訪客留言內容(Comments)

請問SMT需要做到什麼程度的防護

touchyfc,
這個要看自己的需要,一般都要求可以有100K的環境。

不好意思打擾了~~想請問有規範定義落塵的量測點是多少*多少間要量測一點嗎?


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