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無塵室(Clean Room)的微塵等級標準:ISO-14644、FS-209E
『無塵室』又稱為「潔淨室」，是將一定空間範圍內之空氣的微塵粒子、有害氣體、細菌等污染物排除於外，並將室內之溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分佈、噪音振動及照明、靜電控制在一定需求範圍內，而給予特別設計之房間。也就是說這個受控的房間內之微塵粒子相當稀少。
無塵室環境在現代工業中被廣泛應用於半導體晶圓生產、液晶螢幕生產、生化技術、生物技術、精密器械、製藥、醫院等行業中，尤其以半導體晶圓製程時的要求等級最高，因為現今的晶圓已經都是奈米級的水準，隨便一個灰塵掉在晶圓上都可能毀這片晶圓。
無塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外，還分成正壓無塵室與負壓無塵室。一般正壓無塵室比較常見，就是讓室內的空氣壓力大於室外的壓力，這樣才可以控制室內空氣往外吹以杜絕外部的污染源。
而負壓無塵室一般應用在有毒實驗室、病理實驗室或傳染病病房，目的是為了避免實驗室或病房中有任何有毒氣體或傳染病菌不小心傳播到大氣環境中，所以負壓就是為了讓室外的空氣會往室內吹，然後藉由過濾網將可能受污染的空氣過濾，以免讓不相干的大眾受到感染。
最早時期無塵室的等級參考「美國聯邦標準209D規格」，基本上是以一立方英呎含有多少個大於0.5um直徑的微塵粒子來定義的，因為當時最小只能補抓到0.5um。後來更新到【FS-209E】，不過此表準於2001年11月廢止，而改由ISO-14644規範來取代。
ISO-14644-1無塵室的微塵粒子計算公式
ISO-14644-1之無塵室標準列表
下表為ISO-14644-1之無塵室標準，其單位都是公制，所以跟感覺我們以前習慣的英制FS-209等級及粒子數不太一樣，但只要將公制(m3)換算成英制(ft3)就會變得差不多。
| ISO 14644-1 無塵室標準 | ||||||
| 每立方米的粒子數 | ||||||
| 級別 | ≧ 0.1 µm | ≧ 0.2 µm | ≧ 0.3 µm | ≧ 0.5 µm | ≧ 1 µm | ≧ 5 µm |
| ISO 1 | 10 | 2 | ||||
| ISO 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
| ISO 3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
| ISO 4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | |
| ISO 5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 |
| ISO 6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 |
| ISO 7 | 352,000 | 83,200 | 2,930 | |||
| ISO 8 | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | |||
| ISO 9 | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 | |||
ISO-14644-1與FS-209E無塵室等級比較
| ISO 14644-1等級 | FS-209E等級 |
| m3 | ft3 |
| ISO 3 | Class 1 |
| ISO 4 | Class 10 |
| ISO 5 | Class 100 |
| ISO 6 | Class 1,000 |
| ISO 7 | Class 10,000 |
| ISO 8 | Class 100,000 |
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訪客留言內容（Comments）
Hi 工作熊,你好
我想詢問有關於ISO-14644-1與FS-209E無塵室等級比較
那他們是怎麼去做分別的呢? 已知CLASS1000=ISO6
想請教CLASS 1000 0.5um m3(立方公尺) 是35300
但為甚麼ISO同樣是個同級距但它0.5um m3 卻是35200
中間差異100的數值是在哪裡呢?謝謝~
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